一些真空泄漏检测系统在泄漏检测器入口附近安装测试泄漏，或者使用泄漏检测器的内部校准。与被测组件中的泄漏相比，泄漏检测器检测到的泄漏尺寸会产生一些差异。系统对来自组件的氦气的响应时间（氦气到达传感器所需的时间）可能比对来自附近测试泄漏的氦气更长。
在给定的测量时间内，来自工件的信号可能不会上升到满级（而来自测试泄漏的信号会上升到满级），导致被测工件的泄漏率值被低估。在这种情况下，有缺陷的组件可能仍然通过测试！更糟糕的是，系统可能设计有大功率泵，只有部分来自组件的氦气被泵送到泄漏检测器（部分流量设计），这也导致来自组件的氦气信号显著低于来自测试泄漏的信号。
有两种方法可以减少流量，打开一个非常小的孔（称为扩散或毛细管泄漏）或通过膜片控制流量（称为渗透或膜片泄漏）。膜片渗透对温度高度敏感，而气体扩散几乎与温度无关。因此，毛细管泄漏可以在更宽的温度范围内使用（在生产区域可能发生的温度波动内），而渗透泄漏始终需要温度效应校正因子。
毛细管泄漏可以用玻璃毛细管或金属毛细管制成。对于玻璃毛细管泄漏，可以通过选择适当的毛细管内径并调整毛细管长度来实现所需的泄漏率。对于金属毛细管泄漏，可以通过压扁金属毛细管以减小横截面积并制造一个孔来减少流量。对于相同尺寸的泄漏，玻璃毛细管的最小开口远大于金属毛细管的压扁横截面积。因此，金属毛细管泄漏更容易被小尘埃颗粒堵塞。此外，金属毛细管泄漏具有略强的温度依赖性，因为金属随温度的膨胀比玻璃大，当金属膨胀时，小的压扁横截面积可能会发生不可预见的变化（膨胀，甚至进一步压缩）。
